圆晶表面检测仪

图恩视觉晶圆表面检测仪采用高精度光学系统与AI智能算法，实现对半导体晶圆表面颗粒、划痕、缺陷的快速、精准检测，为芯片制造提供可靠的品质保障。

圆晶表面检测仪
自动集成
Automatic Integration
智能分析
Intelligent Analysis
缺陷分类
Defect Classification
高精成像
High-Resolution Imaging
  • 卓越的稳定与重复性

    卓越的稳定与重复性

    专业级防震与环境控制设计，确保测量结果稳定可靠，为工艺优化提供可信数据。

  • 智能缺陷分类与追溯

    智能缺陷分类与追溯

    基于深度学习的AI算法，自动分类缺陷并生成图谱，精准定位问题源头。

  • 全自动高速扫描

    全自动高速扫描

    实现晶圆全域自动化快速检测，大幅提升检测效率，无缝对接生产线节奏。

  • 超高精度缺陷捕捉

    超高精度缺陷捕捉

    采用高分辨率光学系统与先进算法，精准识别并分类微米/纳米级颗粒、划伤、瑕疵。

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应用场景图片

应用场景

来料晶圆表面质量筛查；光刻、刻蚀、薄膜沉积后的工艺缺陷监控；晶圆电测前的表面微污染与损伤复检。